Разработка технологии изготовления КМОП ИМС с алюминиевыми затворами на сапфировой подложке. Химическая обработка пластин

[pic 1]

[pic 2]Министерство образования Республики Беларусь

Учреждение образования

«Минский государственный колледж цифровых технологий»

Специальность

2-41 01 02 Микро- и наноэлектронные технологии и системы

Учебный предмет

«Технология производства микроэлектронных устройств»

Курсовой проект

Разработка технологии изготовления КМОП ИМС с алюминиевыми затворами на сапфировой подложке. Химическая обработка пластин

Пояснительная записка

КП 57МНЭ.016.00.00.000 ПЗ

Разработал        Р.П. Масленко

Руководитель        В.М. Стрельченя

Оценка:

2023

Содержание

Введение……………………………………………………………………………...3

1 Анализ задания на проектирование……………………………………………….4

2 Обзор методов выполнения ТП и выбор оптимального метода…………………5

3 Обзор оборудования для выполнения ТП и выбор оптимального оборудования7

4 Обзор материалов, деталей, инструментов, оснастки для ТП и выбор оптимальных для разрабатываемого ТП……………………………………………………..19

5 Анализ методов и критериев контроля качества ТП и выбор оптимальных для разрабатываемого ТП………………………………………………………………21

6 Условия производства МЭУ……………………………………………………..23

7 Основные конструктивные элементы и принцип действия оборудования для выполнения ТП……………………………………………………………………..25

8 Подготовка оборудования, материалов, рабочего места к выполнению ТП…..31

9 Разработка алгоритма ТП………………………………………………………...32

10 Анализ брака на разрабатываемом ТП, пути предупреждения и устранения..34

11 Мероприятия по охране труда и окружающей среды…………………………35

Заключение………………………………………………………………………….36

Список использованных источников……………………………………………...37

Введение

Современные электронные устройства, начиная от компьютеров и заканчивая мобильными устройствами, требуют все более высокотехнологичных процессов производства, особенно в области микроэлектроники. В настоящее время наиболее распространенным материалом для подложек является кремний, однако, с развитием технологий, появились и другие материалы, такие как сапфир.

Сапфировая подложка имеет ряд преимуществ по сравнению с традиционной кремниевой, такие как высокая термическая стабильность, химическая инертность, высокие электрические свойства и т.д. Более того, сапфир является одним из немногих материалов, которые могут выдерживать высокие температуры и радиационные воздействия, что делает его идеальным материалом для производства электронных устройств, которые должны работать в экстремальных условиях.

В свою очередь, алюминиевые затворы обладают высокой стабильностью и надежностью в работе, что является важным качеством для микроэлектронных устройств. Однако, процесс изготовления КМОП ИМС с алюминиевыми затворами на сапфировой подложке является сложным и требует использования химической обработки пластин.

В рамках курсового проекта будет разработана оптимальная технология изготовления КМОП ИМС с алюминиевыми затворами на сапфировой подложке. Эта технология включает в себя ряд процессов, таких как нанесение металлических пленок на сапфировую подложку, создание изоляционных слоев, формирование каналов и затворов, а также химическую обработку пластин.

Целью данной работы является разработка оптимальной технологии изготовления КМОП ИМС с алюминиевыми затворами на сапфировой подложке и исследование ее электрических свойств.