Essays.club - Получите бесплатные рефераты, курсовые работы и научные статьи
Поиск

Исследование ширины запрещённой зоны тонких плёнок и их получение

Автор:   •  Ноябрь 8, 2020  •  Научная работа  •  361 Слов (2 Страниц)  •  361 Просмотры

Страница 1 из 2

ГБОУ РМЭ “Многопрофильный Лицей Интернат”

Исследование ширины запрещённой зоны тонких плёнок  и их получение.[pic 1]

Белобородов М.А., Красников Е.А.

ГБОУ РМЭ “Многопрофильный лицей интернат”,9А и 9Б класс, п. Руэм 

Научные руководители: 

Учитель физики Токарева Н.С., ГБОУ РМЭ “МЛИ” п. Руэм

Степанов С.А., доцент кафедры КиПР 

Республика Марий-Эл

Актуальность

Тонкие пленки TiO2 широко используют в разных наноэлектронных приборах благодаря их высокой прозрачности в видимой области длин волн и электрическим свойствам, которые изменяются в широких пределах в зависимости от технологических условий их получения. Диоксид титана существует не только в виде тонких пленок. Это давно известное соединение, применяемое во многих областях.

ОБЪЕКТ ИССЛЕДОВАНИЯ:

Поликристаллические тонкие пленки диоксида титана.

ПРЕДМЕТ ИССЛЕДОВАНИЯ:

Ширина запрещенной зоны тонких пленок диоксида титана .[pic 2]

ЦЕЛЬ ИССЛЕДОВАНИЯ:

Определить возможность управления шириной запрещенной зоны  с помощью изменения получения технологического процесса и их получение.[pic 3]

ЗАДАЧИ:

  1. Изучить литературу по данной теме.
  2. Получить тонкие пленки диоксида титана различными методами.
  3. Провести исследования данных пленок с помощью спектрофотометра.
  4. С помощью данных исследований измерить толщины пленок.
  5. Исследовать влияние технологических параметров на оптические и электрические свойства тонких пленок TiO2 .

МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ

  • Теоретический и сравнительный анализ
  • Наблюдение
  • Физический эксперимент

ИССЛЕДОВАНИЕ

Для изготовления тонких пленок мы использовали реактивное магнетронное испарение и дуговое испарение. Напыление тонких пленок TiO2 проводилось на предварительно очищенные подложки стекла на вакуумной установке ННВ с помощью магнетронного распыления и дугового испарения в смеси аргона и кислорода.

Спектры пропускания тонких пленок получены с помощью спектрофотометра СФ-2000. Экспериментальные точки снимались в области длин волн 190−1100 нм., с шагом 1 нм.

[pic 4][pic 5][pic 6][pic 7]

[pic 8][pic 9][pic 10][pic 11]

В полупроводниках запрещенной зоной называют область энергии, отделяющую валентную зону, от зоны проводимости.

Ширина запрещенной зоны Диоксида титана лежит в пределах 3...3,3Эв.

Полученные результаты

Образец

Метод получения

Время напыления образца (мин)

Толщина пленки(нм)

Eg  Эв. (Ширина запрещенной зоны)

1

Магнетронное распыление

25

940

3,2

2

 

20

670

3,5

3

 

15

410

2,9

4

 

10

400

3,0

1

Дуговое испарение

16

690

3,8

2

 

8

660

3,6

3

 

4

500

3,6

4

 

2

490

3,5


[pic 12]

...

Скачать:   txt (5.5 Kb)   pdf (296.3 Kb)   docx (766.9 Kb)  
Продолжить читать еще 1 страницу »
Доступно только на Essays.club