Разработка методики исследования резисторов

МИНИСТЕРСТВO OБРAЗOВAНИЯ И НAУКИ РOССИЙСКOЙ ФЕДЕРAЦИИ

ФЕДЕРAЛЬНOЕ ГOСУДAРСТВЕННOЕ БЮДЖЕТНOЕ OБРAЗOВAТЕЛЬНOЕ

УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГO ПРOФЕССИOНAЛЬНOГO OБРAЗOВAНИЯ

ПOВOЛЖСКИЙ ГOСУДAРСТВЕННЫЙ ТЕХНOЛOГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

Кафедра КиПР

Курсовой проект по дисциплине:

«Методы исследования материалов и процессов микро- и наноэлектроники»

на тему: «Разработка методики исследования резисторов»

Разработал: ст. гр. ЭиН-41 Абдуллин Д.В.

Проверил: канд. техн. наук., доцент каф. КиПР

Филимонов В.Е.

Йошкар-Ола

2018

Содержание

Введение 3

1 Анализ технического задания 4

1.1 Анализ технического задания 4

1.2 Анализ структуры микрообъекта 5

1.3 Анализ параметров микрообъекта 9

2 Выбор методов исследования микрообъекта 12

2.1 Выбор методов исследования материалов 12

2.1.1 Атомно-абсорбционная спектрометрия 12

2.1.2 Атомно-эмиссионная спектрометрия 15

2.1.3 Плазменная масс-спектроскопия 16

2.1.4 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) 18

2.2 Выбор методов исследования слоистых структур 19

2.2.1 Рентгеновская компьютерная томография 21

2.2.2 Инфракрасная термография 21

2.3 Методы исследования геометрических размеров объекта 22

2.4 Исследование поверхностного сопротивления пленочных резисторов 23

2.5 Выбор методов исследования 24

3 Определение технического оборудования 25

3.1 Оборудование для исследования материалов 25

3.2 Оборудование для исследования параметров 32

4 Описание разработанного процесса исследования пленочных резисторов 38

Заключение 40

Список литературы 41

Примечание 43

Введение

Данный курсовой проект предназначен для определения методик исследования резистивного слоя пленки, как толстой, так и тонкой.

В курсовом проекте проведем анализ структуры пленочных резисторов, материала основных технических и электрических параметров, принципы изготовления резисторов и рассмотрим об особенности изготовления. Так же проведем анализ и выборку различных методов исследования объекта, таких как геометрические размеры, удельное поверхностное сопротивление, исследуем на внутренние структурные дефекты и химический состав.

По выбранным методам исследования отталкиваясь от характеристик резистивной пленки, подберем оборудование, и отметим их характеристики, для определения основных параметров, как технических, так и электрических.

1 Анализ технического задания

1.1 Анализ технического задания

В работе рассмотрим некоторые методы исследования материала, процессы их изготовления, подгонки резистивного материала электроискровым воздействием и выберем наиболее оптимальный метод исследования для резисторов. В настоящее время применяются, как и основные методы оптической микроскопии, так и комплексные системы.

Методы и аппаратура для исследования поверхности в настоящее время интенсивно развиваются, что обусловлено практическими потребностями различных современных отраслей промышленности: оптоэлектроники, интегральной оптики, включая нанотехнологии. Актуальными векторами такого развития являются два